Conditionneur de pad 3M™ Trizact™ série T
- 3M ID B5005469002
Détails
Descriptions
- Utilise la technologie de microréplication exclusive de 3M
- Plus grande durée de vie et taux d'enlèvement de matière plus stable par rapport aux conceptions antérieures
- Meilleur taux d'usure des pads pour une solution plus durable et moins coûteuse sur la durée de vie
- Taille de grain plus importante pour le diamant CVD afin de permettre une plus grande efficacité du pad
- Amélioré grâce à une nouvelle technologie de revêtement en diamant microcristallin CVD
- Compatible avec tous les revêtements pour conditionneurs de pad CMP 3M™, sans modification majeure du procédé
- Surface de coupe sans métal pour les procédés à nœuds avancés sensibles à la contamination métallique
- À combiner avec les revêtements pour conditionneurs de pad CMP 3M™ pour une protection supplémentaire contre la contamination métallique
Profitez d’une surface de coupe sans métal, adaptée aux procédés de technologies avancées sensibles à la contamination métallique. Il peut également être combiné aux revêtements pour conditionneurs de pad CMP 3M™ afin de réduire jusqu’à 99 % le lessivage métallique, tout en préservant la planéité, l’agressivité et les performances de polissage.
-
Performance constante sur toute la durée de vie -
Surface sans métal -
Réduction du taux d’usure du pad -
Amélioration du rendement
-
Conditionneur de pad CMP conventionnelÀ mesure que les conditionneurs de pad s’usent, le coefficient de frottement diminue rapidement, ce qui entraîne une baisse du taux d’usure du pad.
-
Conditionneur de pad 3M™ Trizact™ série TLe Conditionneur de pad 3M™ Trizact™ série T conserve la topographie de surface ajustable des conditionneurs 3M™ Trizact™ et y associe une granulométrie de diamant plus élevée pour renforcer l’activation du pad et limiter la baisse du taux d’usure. Ce revêtement diamanté plus rugueux présente un coefficient de frottement plus élevé, ce qui permet de réduire jusqu’à 4 fois la baisse du taux d’usure du pad.
Spécifications
Ressources
Contactez-nous. Nous sommes là pour vous aider.
Envoyez-nous un message
Nous vous remercions de votre intérêt pour 3M. Pour nous permettre de gérer votre demande et d'y répondre le plus précisément possible, nous vous prions de bien vouloir nous fournir quelques informations, comme vos coordonnées. Les informations que vous nous fournirez seront utilisées pour répondre à votre demande par e-mail ou par téléphone. Vous serez contacté par un représentant de 3M ou par l'un de nos partenaires commerciaux agréés avec lesquels nous pourrions partager vos informations personnelles conformément à la Politique de confidentialité de 3M.
Merci d'avoir contacté 3M.
Nous avons bien reçu votre message et nous examinons actuellement votre demande.
L'un de nos représentants vous contactera par téléphone ou par e-mail.
An error occurred.
Questions fréquentes
Oui, le conditionneur de pad 3M™ Trizact™ T Series utilise une fine couche de diamant déposée sur un support céramique microstructuré. La surface de coupe est exempte de métal et idéale pour les procédés de nœuds avancés sensibles.
Le choix d’un conditionneur de pad nécessite des tests de compatibilité pour garantir des performances optimales avec votre combinaison de pad, wafer et slurry. Notre équipe technique dispose de jeux de données pour de nombreuses chimies courantes (du tungstène au cuivre, du poly au STI, et bien d’autres) dont la compatibilité avec nos produits a été démontrée. Nous pouvons également tester des combinaisons spécifiques dans nos laboratoires à travers le monde.
Le 3M™ Trizact™ Pad Conditioner série T s’appuie sur la technologie éprouvée des 3M™ Trizact™ Pad Conditioners. Ces conditionneurs présentent une topographie de surface plus rugueuse, optimisée pour une activation renforcée du pad et une réduction du taux d’usure.
Remplissez le formulaire « Contacter un représentant commercial » sur cette page ou sur toute autre page dédiée aux matériaux CMP 3M. Notre équipe vous contactera pour discuter de vos besoins.
